Resonant network antennas can overcome the limitations of conventional RF plasma sources. Their intense currents at resonance are well suited for inductive coupling in novel reactor configurations. This reference text explains the complete theory of resonant antennas, from fundamental circuits to mutual partial inductance coupling with plasma, and helicon wave theory.
Prenumerera på vårt nyhetsbrev för att få fantastiska erbjudanden och inspiration för din nästa läsning.
Genom att registrera dig accepterar du vår personuppgiftspolicy.